Déposition de couche mince a-Si:H par procédé PECVD: Simulation par la méthode de Monte Carlo, Calcul analytique des probabilités de la réactivité
65.90 EUR
Ein Leitfaden zur a‑Si:H‑Dünnschichtdeposition per PECVD, der Monte‑Carlo‑Simulationen mit analytischer Berechnung von Reaktionswahrscheinlichkeiten verbindet und praxisnahe Optimierungstipps bietet.