Dopage au bore du silicium amorphe hydrogène déposé par pulvérisation: Dépôt des couches minces de silicium amorphe hydrogéné dopé au bore par la technique pulvérisation DC magnétron
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Dieses Fachbuch erläutert die Bor‑dopeung amorphen Siliziumhydrogenschichten, beschreibt die DC-Magnetron-Pulverisationsmethode, analysiert Struktur und Leitfähigkeit und zeigt Einsatzmöglichkeiten in Halbleiterbauelementen.