Electromechanical Systems in Microtechnology and Mechatronics: Electrical, Mechanical and Acoustic Networks, their Interactions and Applications
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Dieses Buch beleuchtet die Verbindung von elektrischen, mechanischen und akustischen Systemen in der Mikroelektrotechnik, zeigt deren Interdependenzen auf und veranschaulicht praxisnahe Anwendungen in MEMS.