Etude du problème inverse en scatterométrie: Application de la scatterométrie spectroscopique à la métrologie dimensionnelle en microélectronique
79.00 EUR
Dieses Buch beleuchtet die theoretische Basis und praktische Umsetzung von Streuwellenanalyse in der Mikroelektronik, erklärt inverse Problemstellungen und liefert neue Messalgorithmen für hochpräzise Metrologie.
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Etude du problème inverse en scatterométrie, Fachbücher von Richard Quintanilha
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22-05-2026 03:05:03
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