Fabrication and Characterization in the Micro-Nano Range: New Trends for Two and Three Dimensional Structures
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Ein praxisnahes Nachschlagewerk, das neueste Verfahren zur Herstellung von Mikro‑ und Nanostrukturen in zwei und drei Dimensionen beleuchtet, deren Materialeigenschaften analysiert und die neuesten Messverfahren kritisch diskutiert.