Le transistor CMOS: la course vers le Nanomonde...: Précipitation du B dans le Si implanté et redistribution du B et Pt lors de l'inter-diffusion réactive dans les films minces Ni/Si
79.00 EUR
Ein wissenschaftliches Buch, das die Präzipitation von Bor im implantierten Silizium und die rekursive Interdiffusion von B und Pt in dünnen Ni/Si‑Schichten untersucht – ideal für Nanotechnologieexperten.