Nouveau procédé de gravure de précision nanométrique en plasmas H2/He
64.90 EUR
Ein Fachbuch, das einen innovativen Nanometer‑Gravurprozess mit Wasserstoff‑Helium‑Plasmen beschreibt, erklärt die physikalischen Grundlagen, Prozessparameter und industrielle Einsatzmöglichkeiten in präziser Sprache.