Relation microstructure et propriété des films de ZrO2 par MOCVD: couches minces, contrainte résiduelle, gradient de contrainte, structure cristalline, texture
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Erforscht die Mikrostruktur von ZrO₂-Filmen, die durch MOCVD aufgetragen werden, und beleuchtet deren Spannungsgradienten, kristalline Anordnung sowie Texturveränderungen in ultradünnen Schichten.
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Relation microstructure et propriété des films de ZrO2 par MOCVD, Fachbücher von Zhe Chen
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03-08-2026 09:11:44
