UV-lithographic patterning of micro-features on a conical mold insert: Adaption of a two-dimensional micro-manufacturing technique to pattern a complex, non-planar geometry

59.00 EUR

Erforscht die Übertragung von UV-Lithografie auf konische Formen zur Erzeugung mikroskopischer Muster; das Buch beleuchtet Technik, Anpassungen und Einsatzmöglichkeiten in der Mikroherstellung.

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